拋光墊

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聚氨酯拋光墊
聚氨酯拋光墊是耐用性能較高的拋光墊
，聚氨酯預(yù)聚物、硬化劑和發(fā)泡劑按混合后
，注入定型容器中做成塊狀
，然后通過切片機加工成最終片狀拋光墊
。

通常被使用于要求高平坦性的拋光工序。

應(yīng)用領(lǐng)域：
LCD用玻璃基板，玻璃圓盤
，光學(xué)鏡片等材料CMP。

定制服務(wù)：
硬度
、尺寸
、溝槽等可按需求定制。

聚氨酯拋光墊


型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

填料

性能特點

應(yīng)用

PU-77

0.42

2

85

78A

氧化鈰

韌性好

，耐磨

蓋板玻璃

、LCD基板

PU-80

0.49

1.5

90

81A

氧化鈰

硬度稍高，平面度好

玻璃

、精密光學(xué)

PU-85

0.55

1.2

87

86A

氧化鋯

切削力強

，針對硬性材質(zhì)

透鏡，石英玻璃

PU-40D

0.5

1.2

75

40D

NA

耐強堿

，拋光速率高

藍寶石窗口片

PU-70D

1.1

1

85

70D

NA

超硬材質(zhì)

，搭配鉆石液

陶瓷、金屬研磨減薄

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無紡布拋光墊
無紡布拋光墊是一款毛氈狀的拋光墊
，能磨出一定程度的平坦性和平滑性
，性能處于聚氨酯拋光墊和阻尼布拋光墊的中間位置。

通常被使用于粗磨或中磨
。

應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓
，藍寶石，光學(xué)鏡片
，金屬等材料CMP
。

定制服務(wù)：
硬度、尺寸
、溝槽等可按需求定制
。
無紡布拋光墊

型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

性能特點

應(yīng)用

NW-70

0.36

4-5

90

72A

耐磨不拉絲，壽命長

金屬

、不銹鋼精拋

NW-75

0.37

4-5

80

76A

軟性材質(zhì)

，貼合性好

藍寶石襯底搭配氧化硅

NW-80

0.37

3-4

80

80A

搭配氧化硅

，表面質(zhì)量高

硅片、砷化鎵襯底

NW-90

0.45

2-3

70

90A

搭配氧化鋁

，拋光速率高

藍寶石

、碳化硅襯底


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阻尼布拋光墊
阻尼布拋光墊是一種絲絨狀的拋光材料，質(zhì)地細(xì)膩
、表面柔軟
、且布滿小孔，使用時能很好地容納拋光液
，提高切削力的同時能避免劃傷工件
。

通常被使用于高平滑性，低欠陷性的精磨工序
。

應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓
，LED玻璃主板，藍寶石玻璃
、金屬等的精拋
。

定制服務(wù)：
硬度、尺寸
、溝槽等可按需求定制
。



阻尼布拋光墊

型號

密度g/cm3

壓縮率%

壓縮彈性率%

硬度邵氏A

性能特點

應(yīng)用

DPP-70

0.55

4-5

75

72A

PET基材，高平整度

不銹鋼精拋

DPN-55

0.34

7-8

80

56A

無紡布基材

，通用型

光學(xué)

，LCD精拋

DPN-60

0.34

7-8

70

60A

長絨毛拋光層

半導(dǎo)體襯底精拋

DPN-65

0.46

3-4

85

67A

高硬度絨毛

藍玻璃精拋